Med utvecklingen av Kinas halvledarindustri har utvecklingen av nyckelkomponenter för processutrustning blivit en kritisk begränsning för utrustningsutveckling. När kravet på lokalisering av inhemsk halvledarteknologi växer sig starkare kommer fler och fler flaskhalsteknologier inom halvledarindustrin att övervinnas. Baserat på många års erfarenhet inom halvledarindustrin, har vårt företag utvecklat en ihålig-höghastighetsservomotor- för att adsorbera wafers i halvledarbeläggning, utveckling och rengöring av utrustning. Denna motor har hög acceleration, ett brett hastighetsområde och hög lyhördhet och har fått mycket beröm av kunder i branschen.
Tillämpningar av servomotorn för ihålig-axel:
Exponerings- och framkallningsutrustning (beläggning, framkallning): Huvudutrustningen för fotolitografiprocesser, kontroll av beläggning, exponering och framkallning.
Utrustning för rengöring, beläggning, framkallning och borttagning av film.
Lämplig för fysisk sköljning, partikelrengöring och sprayprocesser.
Hålaxel servomotor Produktspecifikationer och användningsområden:
750W/1000W – 5000, 6000 rpm
Användningsområden (avancerade-modeller):
8-tums och 12-tums halvledarutrustning.
Processer som beläggning, framkallning, rengöring och etsning.
Maximal acceleration kan nå 50 000 R/S² momentan acceleration.
Speciell axeländsdesign säkerställer den lägsta belastningskoefficienten för axeländen.
