Panasonic drivning + hålaxelmotor säkerställer lång-, hög-effektivitet och stabil drift.
Hålaxel höghastighetsmotorstruktur: Nominell hastighet: 5 000 rpm, maxhastighet 6 000-8 000 rpm.
Ultra-snabb acceleration/retardationstid: 47750R/S².
Lågt ljud, låg vibration, axelände så låg som 0,01 mm.
Vakuum ihålig axeldesign och unik axeländsdesign säkerställer smidig chunk-drift.
Motoreffekt: 750/1000W, vatten-kyld systemdesign, uppfyller kraven för 6-tums, 8-tums och 12-tums wafers.
Skräddarsydd axelände är tillgänglig för olika användare.
